主要参数（可按要求定制）
◎ 工艺管径：60mm
◎ 工作温度:1020℃ ~1050℃
◎ 恒温区：120mm；
◎ 真空：3Pa；
◎ 真空恒压：手动/自动；
◎ 碳源气体：甲烷CH4
◎ 其他气体：H2，N2
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